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螺旋相位片可以使一束入射的平面光產生光學相位與旋轉方位角成正比的均勻圓環光斑，屬于衍射光學元件的一種。當然，也是需要用到光學超聲波清洗機來清洗斑點的，因光學超聲波清洗機可以做到清洗、烘干一體完成。

光學超聲波清洗機運用到的清洗原理：

清洗過程中工件通過超聲波高頻產生的“氣化現象”的沖擊和系統自身不停地作上下運動，增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實現其高清潔度的目的。

威固特配置的光學超聲波清洗機型號為VGT-1307FP的結構系統：

配置有循環過濾系統、自動恒溫系統、拋動系統、超聲波清洗系統、抽風裝置、IPA漂洗系統、IPA烘干系統等。

設備清洗流程：

上料→1洗劑清洗機→2市水漂洗→3洗劑清洗→4洗劑清洗→5市水清洗→6純水漂洗→7純水漂洗→8純水漂洗→9IPA漂洗漂洗→10IPA漂洗→11IPA漂洗→12IPA漂洗→13IPA烘干→下料。

設備每個槽都一一對應一臺發生器：

1．配置第四代超聲波發生器，從根本上保證超聲波的有效轉換率，保證超聲波效果并保證超聲波發生器質量的穩定性；

2．超聲波發生器內設單片機，內附特有的定時系統，可根據生產需要任意調整清洗時間并形成一對一的設置，定時更具靈活性，保證清洗的一致性；

3．超聲波強度光電信號顯示。

對首段說到的清洗、烘干一體完成中的烘干系統，就是我司的超聲IPA脫水槽：

1．獨立清洗槽，結構為鋸齒形四面溢流，溢水槽寬35 mm。通過溢流將槽內液體不斷流入到儲液箱，然后經過循環過濾再泵入清洗槽內使用；

2．設置獨立循環過濾系統；

3．槽底部排液閥排液至儲液箱；

4．槽外設置拋動。

蒸汽烘干槽也是其中一項：

1．蒸汽浴洗的加熱方式采用高溫油（導熱油或采用蒸汽，下同）外包間接加熱,由于高溫油加熱溫度高,且對IPA加熱密度均勻,因此可以獲得均勻、足夠地蒸汽密度，獲得良好的蒸浴效果和干燥效果。因是外包間接加熱，安全性高；

2．為減少揮發，降低使用成本，防止異味的溢出，又可獲得良好的冷卻干燥效果。因此，在上部設足夠冷卻區間，并分為兩層冷凝管冷卻，由冷水機提供冷卻源（需方自備）。采用“大肚婆”的形式；

3．IPA由于易溶于水，一定時間后濃度會降低，為保證蒸浴和干燥效果，需要定時更換IPA溶液。更換時可以通過球閥控制，排放到廢液儲存箱；高溫油設液位保護裝置。

慢拉提升機構原理優勢必在：

高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。工件表面如果有任何垢點或積水點，最后都將影響清洗效果。IPA有較高的沸點，又能較好的溶于水，經過前面IPA的有效脫水和該槽的蒸汽浴洗，工件表面已僅存IPA，經過高溫后有效地散失，可以實現表面高清潔度和干燥之目的。

頂部FFU所起到的作用：

在烘干槽的頂部加設FFU系統，有效減少環境對洗凈效果的影響；（工件加溫后，對灰塵的附著力增強，FFU形成負壓可有效減少環境對洗凈效果的影響，從而從根本上提高產品合格率）。